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我们都称之为油封式真空泵的升级版
来源:未知 作者:admin 发布时间:2019-06-08 点击:
中国机械工业联合会机经网发布时间:2014-11-18 09:36:02 来源:中国泵阀网
干式螺杆真空泵,它利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的优势弥补了油封式真空泵的不足,我们都称之为油封式真空泵的升级版。但是干式螺杆真空泵的造价也是它的不足之处。接下来主要介绍它的优点和缺点:
干式螺杆线、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,可适应恶劣工况2、气体在泵内无压缩,适宜抽取可凝性气体
干式螺杆线、由于螺杆泵加工难度大,我国使用的螺杆泵主要依靠进口,价格非常昂贵。
随着我国工业界的发展,在半导体工业、液晶显示器等工艺制造中,对清洁真空环境的要求越来越高,而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,得到越来越多制造和应用单位的重视,在干式真空泵市场中占有重要的地位。在欧美和日本等发达国家,螺杆型干式真空泵在很多领域已经越来越多的代替了传统的有油泵。
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